OTSUKA廣州代理OTSUKA 內置膜厚監控器 FE-340C 大塚電子

型號：

OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理內置膜厚監控器FE-3/40C日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子
特　長

分光干渉法を用いた膜厚計高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載（特許第4834847號）オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能各種製造裝置への組み込みが可能リアルタイムでの膜厚測定が可能遠隔操作、多點測定に対応長壽命、高安定性の白色LED光源を採用

測定項目

多層膜厚解析

用　途

光學フィルム（ハードコート、ARフィルム、ITOなど） FPD関連（レジスト、SOI、SiO2など）仕　様
型式 FE-3/40C FE-3/200I 全測定方式分光干渉式測定膜厚範囲（ｎｄ値） 20 nm ～ 40 µm 3 µm ～ 200 µm 測定波長範囲 430 nm ～ 650 nm 900 nm ～ 1600 nm 膜厚精度 ± 0.2 nm 以內 *1 - 繰り返し精度 0.1 nm 以內 *2 - 測定時間 0.1 s ～ 10 s 以內スポット徑約 φ 1.2 mm 光源白色LED ハロゲンオプティカルファイバー投受光用Y型ファイバー 1.5 ｍ～ 100 m 寸法、重量 300（W) × 300（D） × 150（H） mm、約 10 kg ソフトウェアピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析 *1 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
*2 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ（包括係數2.1）

.
.
.
.
.
網址：www.fy318.com 或www.fujino.net.cn

本司代理優勢品牌：(歡迎來電詢價)
SOLAX/SERIC索納克斯，FUNATECH船越龍，DSK電通產業，HIKARIYA光屋，ORIHARA折原
IIJIMA飯島電子，EXCEL聽音機，NDK日本電色，ORC歐阿希，HOYA豪雅，TSUBOSAKA壺板，TOPCON拓普康，ONOSOKKI小野，AND艾安德，TANDD天特，TOKISANSYO東機產業，KYOWA共和，TEITSU帝通電子，MCRL村上，KONICA MINOLTA柯尼卡美能達，IMV艾目微，EMIC愛美克，KANETEC強力，HODAKA穗高，SOTEC索泰科，CITIZEN西鐵城，OJIDEN大阪
，TECH-MO盛岡，SANEI三榮電機，OKANO岡野，SUGAWARA菅原，MITUTOYO三豐，RIKEN理研，KETT凱特

科學儀器：
SANSYO三商，TGK東京硝子，TOYOLING東洋，SIBATA柴田科學，LUCEO魯機歐，TGK東京硝子，HEIDON新東，KOKUSAN科庫森，NITTOKAGAKU日陶科學，ITOH伊藤，NIKKATO 日陶，KIRIYAMA桐山，KUSANO草野科學，NISSINRIKA日伸理化，NS恩艾斯

傳感器
KYOWA共和，METROL美德龍，OMRON歐姆龍，FUJI富士，OPTEX光電，KEYENCE基恩士
TAKEX竹中，SUGIDEN/SUGIYAMA杉山電機，GS吉艾斯，TAKASAGO高砂，MATSUNAGA松永，HISHIKO菱小，AIRTECH空氣科技，YAMABISHI山菱

OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理

藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品