藤野貿易代理日本楷捷 KAIJO高頻超聲波清洗機_HIMEGASONIC

型號：

KAIJO日本楷捷廣州代理，KAIJO日本楷捷總代理，KAIJO日本楷捷中國總代理

.KAIJO高頻超聲波清洗機HIMEGASONIC產品簡介:

Si圓片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盤清洗,石英

振蕩器清洗,薄膜磁頭清洗,脆性材料等的超精密超聲波清洗.

Haimega除去小于45納米時所需的超微粒、如半導體和液晶顯示器.

特點■振蕩器

●內置

自診斷功能(CPU)可以反饋集中控制(RS485,D-NET),輸出的運行狀態(tài),

可以與上位機進行通信交流內臟CPU.

●數字顯示輸出　的3位數字顯示,運行狀態(tài)管理的管理,可以進行高精度始終是可能的.

●較低的判斷功能,

可以執(zhí)行上的上限和下限的報警顯示,狀態(tài)顯示振蕩也有可能是觸點輸出.

●自動跟蹤方法PLL頻率

深種溶液,液體：KAIJO自己PLL的方案,其振蕩頻率為自動優(yōu)化

等(高達70度),有可能發(fā)生變化的液體的溫度.

● 功率MOS FET的高效率振蕩,振蕩的高效率是可能的.

●損傷小,

可控制的精細圖案的最佳狀態(tài),我們應對200/300mm晶圓清洗.

發(fā)振器配置

項目

規(guī)格

型號名稱
68101
78101
78102

輸出功率
600W
900W
900W

工作頻率
950KHZ
950KHZ
750KHZ

發(fā)振方式
VCO

頻率調整
自動追尾PLL方式

工作顯示
3位七段LED顯示

遠程控制機構
有

使用環(huán)境溫度
0～40℃

使用環(huán)境濕度
0～80%

工作電源
AC200V 6A
AC200V 9.5A
AC200V 9.5A

外形尺寸
3200×5200×144
460×500×143
460×500×143

重量
約17㎏
約25㎏

振動板配置
使用規(guī)格
6寸晶圓
8寸晶圓
12寸晶圓
振動板規(guī)格
7857S
8857S
98SL
額定輸入
300Wx4
300Wx6
300Wx16
頻率
950kHz
950kHz
750kHz
振動輻射面(mm)
136x163
165x215
275x319
振動板材質
SU316L
使用最高溫度
70℃
外形尺寸
185x215x55
255x305x55
410x340x65
固定方式
螺絲固定

特點■隔膜
●振動元件是大P. Z.由于振動元件T,有沒有不均勻清洗.

●非常高的功率密度,清潔能力非常出色.(5.4W /約2厘米)的

厚度,因為它是厚

●具有優(yōu)良的機械強度,壽命長,省心,還內置了洗滌槽.

●高效率聲幾乎沒有損失.

●少的接縫的裝置,最好的清洗效果可以預期.

●SU304,316,316 L為三種類型的材料是準備就緒

特點■洗滌槽

●商品化的超聲波浴石英振子直接鍵合到石英容器.

相比傳統的雙室超聲波照射(1.2倍以上相比,我們的)強.這是的唯一技術Kaijo.

●支持兩種類型的室溫(50℃最高),高溫(80℃最高)是可以使用的液體溫度.
●我們還生產不銹鋼水槽.
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